Analyse kritischer Abmessungen
- Problemloses Erkennen von Spitzen und Vertiefungen
- Profile, Profilserien oder Topografie (Oberflächen) einschließlich Multi-Channel-SPM oder Profilometerdaten verwenden
- Parameter relativ zur Analyse der kritischen Abmessungen berechnen: Höhe, obere/mittlere/untere kritische Abmessungen, Seitenwandwinkel, Pitch, Breite/Pitch-Verhältnis usw.
- Oberflächengeometrie und Werte für jedes Profil oder Muster anzeigen
- Qualitätssicherung: Alle erkannten Muster statistisch bewerten
- Verbessern: Aussagekräftigere statistische Analysen durch Ausschluss bestimmter Profile mit abweichenden Werten (Breite, Höhe, erste oder letzte Spitze/Vertiefung usw.)
Hinweis: Profile und Oberflächen müssen vor der Analyse der kritischen Abmessungen ordnungsgemäß ausgerichtet werden.
Linienkantenrauheit
- Parameter Linienkantenrauheit (LER, Line Edge Roughness) und Linienbreitenrauheit (LWR, Line Width Roughness) für Kanten von in REM-Bildern erkannten Bändern ermitteln
- Bänder mithilfe von Schwellenwerten, Canny-Verfahren (zur Kompensation ungleicher Ladungseffekte an Rändern) oder zwischen Bordüren (mit geringer Graustufenvariation) erkennen
- Parameter relativ zur Analyse der kritischen Abmessungen berechnen: Breite von Linie/Band/Muster, Pitch
- Große Datenmengen mit den Automatisierungswerkzeugen von Mountains® verarbeiten (Dieser Artikel enthält weitere Informationen)
Verfügbar als optionales Modul für:
- MountainsMap® Imaging Topography
- MountainsMap® Expert
- MountainsMap® Premium
- MountainSEM® Color
- MountainSEM® Expert
- MountainSEM® Premium
- MountainsSPIP® Expert
- MountainsSPIP® Premium
- MountainsSpectral® Premium
- MountainsImage® Starter
- MountainsImage® Expert
- MountainsImage® Premium
- MountainsLab® Expert
- MountainsLab® Premium