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MountainsSEM®の内容

SEM画像のカラー化と強調
  • SEM画像を迅速かつ容易にカラー化するための「Click and color(自動色付け)」ツール
  • 画像補正および強調ツールを適用
ステレオペアからの3D再構築
  • 数秒でサンプルの連続した2つの傾斜スキャンから3D表面トポグラフィを再構築し、正確な高度値を取得します。
  • 正確な高度値を取得し、表面粗さを評価します。
複数画像からの3D再構成

マルチセグメント検出器を使用して取得した3枚または4枚の画像から3D表面トポグラフィを再構築します。

ラインエッジ粗さ
  • SEM画像で検出された帯のエッジにおけるラインエッジ粗さ(LER)およびライン幅粗さ(LWR)のパラメータを算出します
EDSデータを用いて迫力ある3D化学マップを作成

EDS(EDX)マップやその他のスペクトル・組成データをSEM画像から再構築したトポグラフィと連携し、見事な3Dレンダリングを構築

体積電子顕解析
  • FIB-SEM、シリアルブロックフェイスSEM、アレイトモグラフィなどの体積電子顕微鏡画像シリーズを立方体形式で読み込み、表示・解析
  • トモグラフィと化学解析の連携
2D粒子解析

SEMデータに強力な粒子解析ツールを適用し、AIおよびSEM専用の物体認識を使って画像内のフィーチャを自動で特定・定量化します。

ファイバー解析
  • オーバーラップしている場合でも空隙およびファイバーを個別に定量化
  • ファイバーの径と方向を計算
  • SEM専用のファイバー検出アルゴリズムを使用
相関解析
  • 異なる検出器からのSEM画像やAFMまたはEDS(EDX)など他の計測機器のデータと組み合わせて相関解析
  • スペクトル解析データとSEM画像の共局在化も可能

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    オプションモジュールの推奨

    以下の高度および特定用途向けオプションモジュールをMountainsSEM®で利用できます。

    Advanced Profile (モジュール)

    高度な断面フィルタリング、フーリエ解析およびフラクタル解析、およびシリーズの断面の統計解析

    のオプション MountainsSEM® Premium
    のオプション MountainsSEM® Expert
    と互換性なし MountainsSEM® Image Analysis
    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Contour Analysis (モジュール)

    輪郭断面の基本的な幾何学的寸法記入と画像表面から抽出された平行輪郭など

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
    のオプション MountainsSEM® Expert
    のオプション MountainsSEM® Image Analysis
    のオプション MountainsSEM® Color
    Advanced Topography (モジュール)

    3D(「領域」)表面性状解析の高度な調査、パラメータ、フィルタ

    のオプション MountainsSEM® Premium
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    と互換性なし MountainsSEM® Image Analysis
    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Fourier & Wavelets (モジュール)

    FTベースのテクスチャ解析、高度なFTフィルタリング、ウェーブレットによるマルチスケール解析

    のオプション MountainsSEM® Premium
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    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Shell Extension (モジュール)

    フリーフォーム表面管理、複雑な形状の解析、高品質3D視覚化

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
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    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Colocalization (モジュール)

    1つ以上の機器タイプからの表面データと画像データのコローカリゼーションと調整

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
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    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Correlative Microscopy (モジュール)

    スペクトルマップの処理、スペクトル画像データの補正とエンハンスメント、相関解析を実施する

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
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    と互換性なし MountainsSEM® Color
    Particle Analysis (モジュール)

    構造化された表面の粒子、細孔、粒子、島などを検出および解析するための包括的なツールセット

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
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    で利用可能 MountainsSEM® Image Analysis
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    Fiber Analysis (モジュール)

    SEM画像(SEモードとBSEモード)、光学顕微鏡画像、地形データの直径と方向などの繊維形態を解析します。

    で利用可能 MountainsSEM® Premium
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    Spectroscopy (モジュール)

    分光データの可視化、処理、解析および相関 IR、ラマン、TERS、EDS/EDX、XRFなど

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    Thickness Analysis (モジュール)

    一対の表面または断面に基づいたグローバルまたはゾーン固有のインタラクティブな厚さ特性解析

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    Critical Dimensions & Trenches (モジュール)

    半導体製造プロセスにおける限界寸法を計算し、線端の粗さ/線幅の粗さを評価します。

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    4D Surface Change (モジュール)

    表面進化を時間、温度、磁場または他の次元で解析

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    Chemical Cubes (モジュール)

    構成データのマルチチャネルキューブの完全な可視化と解析

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    製品を選択

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    MountainsSEM® Expert

    MountainsSEM® Image Analysis

    MountainsSEM® Color

    装置の互換性

    任意の走査型電子顕微鏡(SEM)

    製品機能

    高速SEM画像のカラー化

    基本的な解析・測定ツール

    画像補正および強調ツール

    EDS/EDXマップの重ね合わせ

    複数のSEM画像からの超高速3D再構築

    単一SEM画像の瞬時3D強調

    オプションモジュール

    2D粒子解析および特性評価

    Option Option

    相関顕微鏡法

    ファイバー解析

    Option Option Option

    外形解析

    Option Option Option

    体積電子顕微鏡立方体の可視化および解析

    Option

    シェル(自由曲面)対応

    Option

    限界寸法およびトレンチ

    Option Option Option Option

    高度な断面解析

    Option Option

    高度なトポグラフィ解析

    Option Option

    フーリエおよびウェーブレット解析

    Option Option

    分光法

    Option Option

    厚み解析

    Option Option

    4D表面変化

    Option Option
    標準搭載
    Option
    必要に応じて追加可能
    非対応

    MountainsSEM®の内容

    装置タイプ
    • 従来型SEM
    • 電界放出型SEM(FE-SEM)
    • 環境SEM(ESEM)
    • 集束イオンビームSEM(FIB-SEM)システム

    詳細を見る

    対応ブランド
    • Advantest
    • Elionix
    • Hitachi High-Tech
    • Jeol
    • Semplor
    • ThermoFisher
    • Zeiss

    詳細を見る

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