限界寸法解析
- 山頂点またはトレンチを迅速かつ容易に検知します
- 断面、断面シリーズ、またはトポグラフィ（表面）を使用します（マルチチャネルSPMまたは表面形状測定装置データを含む）
- 限界寸法解析に関連するパラメータを計算します：高度、上部/中部/下部CD、側壁角度、ピッチ、幅/ピッチ比など
- 断面毎またはパターン毎に表面形状および値を表示します
- 品質保証：検出された各パターンを統計的に評価します
- リファインオプション：異常な値（幅、高度、最初または最後の山頂点/トレンチなど）を持つ特定の断面を除外することで、統計解析の有効性を高めます
注：限界寸法解析を実行する前に、断面および表面は正しくレベリングする必要があります。
ラインエッジ粗さ
- SEM画像で検出された帯のエッジにおけるラインエッジ粗さ（LER）およびライン幅粗さ（LWR）のパラメータを算出します
- しきい値処理、Cannyメソッド（エッジにおける非対称な帯電効果を補正するため）、またはトリム間の帯の検知（グレーレベルの変化が小さい場合）を使用して帯を検知できます
- 限界寸法解析に関連するパラメータを計算します：ライン/帯域/パターンの幅、ピッチ
- Mountains®の自動化ツールを使用して大量のデータを処理します（詳細は本記事を参照してください）
オプションモジュールとして提供されます：
- MountainsMap® Imaging Topography
- MountainsMap® Expert
- MountainsMap® Premium
- MountainSEM® Color
- MountainSEM® Expert
- MountainSEM® Premium
- MountainsSPIP® Expert
- MountainsSPIP® Premium
- MountainsSpectral® Premium
- MountainsImage® Starter
- MountainsImage® Expert
- MountainsImage® Premium
- MountainsLab® Expert
- MountainsLab® Premium